氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理，用氦氣作探索氣體制成的氣密性檢測儀器，其質(zhì)譜原理如圖所示。
燈絲發(fā)射出來的電子在電離室內(nèi)來回的振蕩，與電離室內(nèi)氣體和經(jīng)被檢件漏孔進入電離室的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些離子在加速電場作用下進入磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)，形成圓弧形軌道，軌道半徑
式中 R ——離于偏轉(zhuǎn)軌道半徑(cm )
B ——磁場強度(T)
M/Z——離子的質(zhì)(量)／(電)荷比(正整數(shù))
U ——離子加速電壓(V)
由上式可知，當 R 、B 為定值時，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。
氦質(zhì)譜檢漏是一種快速、靈敏、可靠并且可以定位漏點的檢漏方法。廣泛用于航天、汽車、電池、真空、閥門等領域。
